“这些CMP技术也要交给我们俩弄吗？”

　　今天得到信息量太大了。两个年轻人很有种目不暇接的感觉。

　　多重图案技术，一听就明白，也就敢照亮照亮。但是CMP技术，涉及的就是就是真刀真枪了。

　　机械研磨，研磨液怎么办，研磨速度，机加工精度，这里面就没有一个是简单的。

　　他们两个与成永兴多少面临同样的问题，那就是毕竟学习时间太短，基础知识不牢靠。

　　“这几个技术，我会交给其他人进行研发。”

　　这个CMP技术，也很重要，但它就没有保密的必要了。因为它本身就是一个公开的技术。现在就是比，谁先采用了。早采用，早受益。它完全可以光明正大的搞起来。

　　这也是为什么这个技术，被叫做真1微米的原因。

　　CMP技术摆在前台做幌子，多重图案技术藏在后面。

　　“是要交給赵主任他们吗？”

　　“我会另外安排。你们就不用管了。”

　　这确实是个令人头疼的问题。

　　工大在集成电路工艺上面，这两年也做出了些成果，但毕竟底蕴不足。

　　另外，术业有专攻。只靠一个专业的十几个人，去包打天下，根本就不现实。

　　赵主任领着一群弟子，已经在集成电路设计方面，狂奔了起来。那么就让他们继续走下去吧。

　　这些技术，很多都是系统性的。它甚至不是靠一两台设备，一两个设备厂家能搞定的。

　　引入第三方力量，就是必须。

　　不过这个事情不急。幌子的作用，主要还是幌子。

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　　“我们现在干什么？”

　　“第一步还是先来验证概念，另外要试验一下，看LELE和SAMP这两条路，哪一条更容易实现，难度最低。”

　　多重图案技术法，有两条实现路线。一条是LELE，另一条是SAMP.

　　LELE是将设计版图分解成两套独立的低密度图形，通过两次单独曝光和两次单独刻蚀，然后叠加在一起，形成更精细的图案。

　　SAMP是通过一次光刻形成核心图形，然后通过沉积（Deposition）在核心图案两侧形成侧墙（SideWall），最后通过刻蚀（Etch）和修剪曝光来实现所要的图形。

　　“这两条路，是你提出来的，你自己不知道？”

　　严亮觉得这个事情有点奇怪。

　　“我又没有自己动手做过，我哪里知道？”

　　“这真是你自己的想法？”

　　“你问这么多干什么？好奇心太大，会害死猫，你不知道吗？”

　　“我们又不是猫！不说算了，谁稀罕！”

　　一个人又不是生活在真空里，只要时间长了，总是要漏出些马脚的。以前，成永兴每次还会去找借口解释，慢慢的，他连借口都懒得找了。

　　这也是他只相信身边这几个人的缘故。至少这些同学，同乡，他信得

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